消除高濒淬火变形

请教高手，现有一难题，我司有一冲压齿形件，厚度3mm，材料为20钢，图形见附件，现在对齿形部分进行局部高濒淬火，目前采用局部高濒淬火的方式，但是热处理中遇到了工艺上的难题，尤其是1号齿板，因为齿顶圆变大了，导致与小齿轮啮合后有异响。其间我们也做了一些工艺方法的改变，目前采用高濒淬火遇到的问题如下：
  1、2＃齿板工艺性较好，在高濒淬火后尺寸变化很小，但平面度很差；我们要求平面度为0.3；
   2、1＃齿板热处理后平面度超差，尺寸也有超差，热处理后测量齿顶圆直径超差，其尺寸超上差在1.2～2.0；
   3、也用碳氮共渗的方式试过，用一个夹具把零件不热处理的部位夹紧，热处理完后，平面度有好有坏，大部分在0.3以内，但也有到1.0的，另外齿顶圆比淬火前小了约1mm；
     现在我们希望寻求到一种合适的工艺方法：
     1、用高濒淬火的方式能否解决尺寸问题和平面度问题，因为尺寸公差要求比较高，如果此种热处理方式不能满足，其它的热处理方式是否可以满足？但这种方式不影响后序的焊接和电镀；
     2、因为最终是要解决齿板磨损的问题，如果热处理变形无法解决，是否有其它的方法可以提高其耐磨性？这种方法是否适合工业化生产？